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高纯液氮纯化方法:
氮气纯化方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在生产中,通常采用黑色钢瓶盛放氮气。
高纯液氮的用途:
在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。
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分析报告单 | |||
检验依据:GB/T8979-2008 编码:0001902 | |||
样品名称:液氮 | 取样地点:液氮槽车 | ||
分析项目 | 指标 | 分析结果 | |
氮气(N2)纯度(体积分数)/10-2 ≥ | 99.999 | ||
氧(O2)含量(体积分数)/10-6 ≤ | 3 | ||
氢(H2)含量(体积分数)/10-6 ≤ | 1 | ||
一氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-6 ≤ | 1 | ||
二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10-6 ≤ | 1 | ||
甲烷(CH4)含量(体积分数)/10-6 ≤ | 1 | ||
水(H2O)含量(体积分数)/10-6 ≤ | 3 |
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